吸着プレート(吸着板)

東レ・プレシジョンの吸着プレートの特長

高精度で様々なワークに対応できる東レ・プレシジョンの吸着プレートの特長をご紹介します。

東レ・プレシジョンの吸着プレートの仕様

最小孔径	Φ20μm
加工精度	孔径±10％～　※サイズ・材質・孔径により異なります
最小ピッチ	0.3mm
位置精度	±10μm以下
最大ワークサイズ	780×760mm
最大孔加工エリア	770×690mm
表面粗さ	最小表面粗さ Ra0.01μm程度 吸着・離型の要望により異なります ご要望に合わせてカスタマイズ可能
適用材質	金属全般、その他　※お気軽にご相談下さい

丸孔形状以外の異形孔・スリット加工も対応可能

固定した製品が吸着孔に引き込まれて刃が届かず割断や切断できない、製品に吸着痕がついてしまう等ありましたらお気軽にご相談下さい。

東レ・プレシジョンの吸着プレートの用途

MLCC製造などのセラミックシートの固定

MLCC製造時に使用する0.01mm以下のセラミックシートでも吸着痕が残りにくい、極小の孔径・狭ピッチと、表面処理による優れた離型性でダメージを極力抑えた吸着プレートがご提供できます。

薄板ガラスのダイシングの固定

薄板ガラスをダイシングする際、切断位置の精度・刃が入る際のガラス基板の平行度を考慮した吸着プレートを提供できます。

樹脂フィルム(枚葉式)への塗工時の固定

フィルムへ塗工時の塗工する位置の精度を上げ、塗料の無駄を抑制改善する、及び洗浄などメンテナンスに優れた吸着プレートを提供できます。

ワーク(枚葉式)の画像検査時の固定

薄膜ワークの検査時、高倍率による焦点距離・視野エリアが小さいケースでも、ワークを高い再現性と位置精度で固定できる吸着プレートを提供できます。

吸着プレート デモ機のご紹介

東レ・プレシジョンの吸着プレートをお試ししたい企業様にデモ機の貸し出しを実施しております。お気軽にお問い合わせくださいませ。

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吸着プレートの紹介動画

製品加工例

従来の吸着プレートと微孔吸着プレートの違いについては以下の図をご確認ください。

吸着プレートとは

吸着プレートとは薄い製品(例えば薄板ガラス、薄膜フィルム、セラミックシート等)を吸着固定する治具・機器のことです。
製品を吸着する面を真空にすることで製品を安定して固定させます。

呼び方も吸着プレートの他、吸着板、吸着ステージ、真空チャック、バキュームチャック等と複数の呼び名があります。

吸着固定する方式は、微細孔を多数あけた金属板で製品を吸着固定する形式や多孔質材の板に吸着固定する形式などがあります。

この製品に使用された主な技術はこちら

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