吸着プレート(吸着板)

吸着プレート②
  • 吸着プレート②
  • 吸着プレート①
  • 吸着プレート③
  • 吸着プレート④
  • 吸着プレート⑤

微細孔と狭ピッチによる加工で
吸着痕の少ない吸着プレート

フィルムや柔らかいシート状ワークの吸着固定には、シワ・吸着痕がなく、しっかり固定することが求められます。
東レ・プレシジョン製造の吸着プレートの特長は、
①微細な孔の加工
②孔を狭ピッチで配置
③プレート面を高い平面度に仕上げることです。
これにより、薄いワークを歪みを抑制しつつ吸着固定することが可能です。生産ラインでの導入を想定したカスタマイズも可能です。
(孔径、孔の配置は、ご要望に応じます。)

吸着プレートとは

吸着プレートとは薄い製品(例えば薄板ガラス、薄膜フィルム、セラミックシート等)を吸着固定する治具・機器のことです。
製品を吸着する面を真空にすることで製品を安定して固定させます。

呼び方も吸着プレートの他、吸着板、吸着ステージ、真空チャック、バキュームチャック等と複数の呼び名があります。

吸着固定する方式は、微細孔を多数あけた金属板で製品を吸着固定する形式や多孔質材の板に吸着固定する形式などがあります。

東レ・プレシジョンの吸着プレートの特長

東レ・プレシジョンでは金属板に高精度な微細孔と位置精度で加工し、且つ、高い平面度で吸着面を仕上げるため、薄膜の製品を均一に吸着固定することが可能です。
狭ピッチの加工が可能で、薄くてデリケートな製品への吸着痕やシワの発生を防ぎます。

  • 高精度な微細孔と位置精度と高い平面度で均一に吸着固定が可能
  • 製品への吸着痕やシワ対策が可能
  • オーダーメイドで吸着エリアを自由設計
  • 目詰まりしても洗浄可能で、メンテナンスに優れる※1
  • 製品の脱着応答(ON/OFF)が速やか
    (多孔質吸着と比較して、エアーの圧損が小さく離型が容易)
  • 大きいワークサイズも対応可能 

※1粘着剤などは除去できない場合があります。

東レ・プレシジョンの吸着プレートの仕様

最小孔径 Φ15~20μm
加工精度 孔径±10%~ ※サイズ・材質・孔径により異なります
最小ピッチ 0.3㎜
位置精度 ±10μm以下
最大ワークサイズ 800×800㎜
表面粗さ 吸着・離型の要望により異なります
ご要望に合わせてカスタマイズ可能
適用材質 金属全般、その他 ※お気軽にご相談下さい

丸孔形状以外の異形孔・スリット加工も対応可能

固定した製品が吸着孔に引き込まれて刃が届かず割断や切断できない、製品に吸着痕がついてしまう等ありましたらお気軽にご相談下さい。

東レ・プレシジョンの吸着プレートの用途

  • 樹脂フィルムの固定
  • セラミックシートの固定
  • スクリーン印刷
  • ピックアップ&プレイスユニット
  • ガラス基板の搬送での固定

関連動画

吸着プレート 金属箔の吸着

吸着プレート上の500円玉の浮遊

製品加工例

従来の吸着プレートと微孔吸着プレートの違いについては以下の図をご確認ください。

吸着プレート③

この製品に使用された主な技術はこちら

こんな時にご相談ください

当社のご紹介

東レ・プレシジョンは超精密微細加工技術のパイオニアです。

1955年の創業以来、合成繊維製造のキーテクノロジーである紡糸用口金を製造し、日本はもちろん世界の合繊業界の発展に貢献して参りました。
この間に培ってきた精密微細加工技術の経験とノウハウは、現在では半導体、計測・検査、航空・宇宙、医療機器など、様々な産業分野に広く活かされています。