吸着プレート(吸着板)
吸着プレートとは
吸着プレートとは薄い製品(例えば薄板ガラス、薄膜フィルム、セラミックシート等)を吸着固定する治具・機器のことです。
製品を吸着する面を真空にすることで製品を安定して固定させます。
呼び方も吸着プレートの他、吸着板、吸着ステージ、真空チャック、バキュームチャック等と複数の呼び名があります。
吸着固定する方式は、微細孔を多数あけた金属板で製品を吸着固定する形式や多孔質材の板に吸着固定する形式などがあります。
東レ・プレシジョンの吸着プレートの特長
東レ・プレシジョンでは金属板に高精度な微細孔と位置精度で加工し、且つ、高い平面度で吸着面を仕上げるため、薄膜の製品を均一に吸着固定することが可能です。
狭ピッチの加工が可能で、薄くてデリケートな製品への吸着痕やシワの発生を防ぎます。
- 高精度な微細孔と位置精度と高い平面度で均一に吸着固定が可能
- 製品への吸着痕やシワ対策が可能
- オーダーメイドで吸着エリアを自由設計
- 目詰まりしても洗浄可能で、メンテナンスに優れる※1
- 製品の脱着応答(ON/OFF)が速やか
(多孔質吸着と比較して、エアーの圧損が小さく離型が容易) - 大きいワークサイズも対応可能
※1粘着剤などは除去できない場合があります。
東レ・プレシジョンの吸着プレートの仕様
最小孔径 | Φ15~20μm |
---|---|
加工精度 | 孔径±10%~ ※サイズ・材質・孔径により異なります |
最小ピッチ | 0.3㎜ |
位置精度 | ±10μm以下 |
最大ワークサイズ | 800×800㎜ |
表面粗さ | 吸着・離型の要望により異なります ご要望に合わせてカスタマイズ可能 |
適用材質 | 金属全般、その他 ※お気軽にご相談下さい |
丸孔形状以外の異形孔・スリット加工も対応可能
固定した製品が吸着孔に引き込まれて刃が届かず割断や切断できない、製品に吸着痕がついてしまう等ありましたらお気軽にご相談下さい。
東レ・プレシジョンの吸着プレートの用途
- 樹脂フィルムの固定
- セラミックシートの固定
- スクリーン印刷
- ピックアップ&プレイスユニット
- ガラス基板の搬送での固定
関連動画
吸着プレート 金属箔の吸着
吸着プレート上の500円玉の浮遊
製品加工例
従来の吸着プレートと微孔吸着プレートの違いについては以下の図をご確認ください。
この製品に使用された主な技術はこちら
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精密加工 技術ハンドブックVol.3
~精密加工実例集~
超精密微細加工技術のパイオニアである東レ・プレシジョンの様々な技術をご紹介する、技術資料(PDF)をご提供しています。是非この機会にダウンロードいただき、お役立てください。
資料概要
- ●アパーチャー
- ●ディスペンサーノズル
- ●導光板金型
- ●スリットダイ
- ●吸着プレート
- ●クローズドインペラ
- など
- 当社のご紹介
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東レ・プレシジョンは超精密微細加工技術のパイオニアです。
1955年の創業以来、合成繊維製造のキーテクノロジーである紡糸用口金を製造し、日本はもちろん世界の合繊業界の発展に貢献して参りました。
この間に培ってきた精密微細加工技術の経験とノウハウは、現在では半導体、計測・検査、航空・宇宙、医療機器など、様々な産業分野に広く活かされています。