半導体の製造装置内にあるキーデバイスを数多く手掛けています。半導体製造に求められる表面粗さや精密洗浄などにも対応し、高品質に仕上げます。また、傷を嫌う製品の搬送ができるエア浮上式パーツフィーダ「トレフィーダ」も手掛けています。
吐出させる液体の特性を生かし、目詰まりの少ないインクジェットノズルを製造します。
安定した吐出(塗布)や、ばらつき・目詰まりの少ないノズルを製造します。
理化学機器などのキーデバイスの1つで、気体や流体の流量を高精度に制御できる製品を提供します。
電子線を高精度にビーム状に収束するための部品を提供しています。
半導体の製造向け吸着治具を製造しています。面精度や吸着性能の高い製品を開発しています。
フィルムや薄いシートをキズをつけずに固定するための吸着治具です。狭ピッチで微細な孔を施すことでキズや吸着痕を抑制します。
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技術資料
精密加工 技術ハンドブック Vol.4
~半導体製造向け~
超精密微細加工技術のパイオニアである東レ・プレシジョンの様々な技術をご紹介する、技術資料(PDF)をご提供しています。是非この機会にダウンロードいただき、お役立てください。
資料概要