技術資料
精密加工 技術ハンドブックVol.4
(半導体関連向け)
半導体製造の一翼を担う精密微細加工技術と、半導体製造装置向け製品事例をご紹介します。
資料概要
- 半導体とは / 世の中の活用先
- 製造プロセス
- 部品性能の重要性
- 加工技術 –超精密微細孔加工技術–
- 加工技術 –精密仕上げ加工技術/精密洗浄–
- 半導体製造装置向け製品事例（1）
(真空装置向け高精度部品/電子ビーム・光学絞り部品) - 半導体製造装置向け製品事例（2）
(トレフィーダ®） など