半導体の製造装置内にあるキーデバイスを数多く手掛けています。半導体製造に求められる表面粗さや精密洗浄などにも対応し、高品質に仕上げます。また、傷を嫌う製品の搬送ができるエア浮上式パーツフィーダ「トレフィーダ」も手掛けています。
吐出させる液体の特性を生かし、目詰まりの少ないインクジェットノズルを製造します。
安定した吐出(塗布)や、ばらつき・目詰まりの少ないノズルを製造します。
理化学機器などのキーデバイスの1つで、気体や流体の流量を高精度に制御できる製品を提供します。
電子線を高精度にビーム状に収束するための部品を提供しています。
半導体の製造向け吸着治具を製造しています。面精度や吸着性能の高い製品を開発しています。
フィルムや薄いシートをキズをつけずに固定するための吸着治具です。狭ピッチで微細な孔を施すことでキズや吸着痕を抑制します。
均一にコーティング塗布ができる精密な噴霧器を提供しています。
半導体のような電子部品から、外寸20mm程度のサイズまでに対応した基本のパーツフィーダ
Sタイプの機能に、表裏・前後方向あわせ機能を加えた高機能型パーツフィーダ
ITタイプに当社推奨の画像処理検査システム、3D 計測ヘッドなどを整備した計測・検査装置
高度な精密加工技術で実現されたトレフィーダの特長を最大限に発揮するユニークなキーテクノロジーユニット
半導体とは、絶縁体と導体の中間的な性質を持った物質です。
温度や電圧、光などの影響を受けて電気伝導性が変化しやすいのが特徴で、この特徴を活かして電子部品が製作され、コンピューターや家電製品などの電子機器に使用されています。
なお一般的には、電子部品や集積回路、半導体チップなども含めて半導体と呼ばれることが多いです。
半導体製造装置は、微細な部品を制御する必要がある為、部品製造において高い精度と精密さが求められます。
また、部品の材料選択が製品の性能に大きく影響する為、最適な材料を選ぶ必要があります。可能な限り特殊な材料を使用せず、部品の製造をシンプルにすることによってコストダウンも可能にします。
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資料概要
