ナノオーダーの微細孔加工を行いたい

東レ・プレシジョンでは、集束イオンビーム(FIB)加工と呼ばれる微細な加工に優れた技術を保有しています。
集束イオンビーム(FIB)加工は、数十ナノメートル程度に集束したイオンビームを材料表面に照射し、材料表面を構成する原子を弾き飛ばすことで微細な加工を行います。
サブミクロンやナノオーダーの精度で高精度・高品位に加工することができます。

ナノオーダーの精密加工は
東レ・プレシジョンにお任せください

東レ・プレシジョンは、ナノオーダーの加工を実現する高い技術力を保有しています。

ナノオーダーの加工仕様

集束イオンビーム(FIB)加工によるナノオーダーの加工仕様をご紹介します。

最大ワークサイズ	50(X)×50(Y)×10(Z)mm
最小加工サイズ（目安）	溝幅：100nm、孔径：φ100nm　（溝・孔ともに、～L/D=5）
アスペクト比	5～6
対象材料	各種金属、導電性セラミック

ナノオーダーの加工事例

集束イオンビーム(FIB)加工によるナノオーダーの加工事例をご紹介します。

• φ0.5µm 多孔加工（SUS t2µm）
• φ5µm加工（SUS t5µm）
• 工具への微細加工（ZrO2）
• 微細加工（Si）