アパーチャー・コリメーター・オリフィス
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良好な精度で滑らかに孔を仕上げ、
高品位な製品を提供
光や流体の絞り、流量制御として使われています。
電子ビームやイオンビームの絞りとして使用されるアパーチャーは、穴の品位はもちろんのこと、帯電によるビームの乱れが発生しないように平滑な面や汚れのない仕上がりが求められます。
用途
- 電子ビームやイオンビーム、X線の絞り・流量制御
- 計測・検査
- 理化学機器
- 真空部品
特長
- 超微細穴の深穴加工が可能です。(例：穴径Φ0.003mm 厚み 0.010mm)
- 最小穴径はΦ0.003mmからとなります。
- 材質はSUS、Mo、Ta等ご相談に応じます。
製品加工例
アパーチャーのキーポイントである孔を、良好な精度で滑らかに仕上げます。
その他、レーザーやFIBなど孔のスペックに応じて様々な加工方法で対応いたします。
X線コリメーターの加工例
| 穴径 | 0.003mm |
|---|---|
| 厚み | 0.010mm(L/D=2倍) |
| 材質 | タングステン |
| 穴径 | 0.050mm |
|---|---|
| 厚み | 0.010mm(L/D=2倍) |
| 材質 | タングステン |
| 穴径 | 0.025mm |
|---|---|
| 厚み | 0.010mm(L/D=2倍) |
| 材質 | タングステン |
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技術資料
精密加工 技術ハンドブックVol.3
～精密加工実例集～
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東レ・プレシジョンは超精密微細加工技術のパイオニアです。
1955年の創業以来、合成繊維製造のキーテクノロジーである紡糸用口金を製造し、日本はもちろん世界の合繊業界の発展に貢献して参りました。
この間に培ってきた精密微細加工技術の経験とノウハウは、現在では半導体、計測・検査、航空・宇宙、医療機器など、様々な産業分野に広く活かされています。