超短パルスレーザー加工
超短パルスレーザー加工の原理
超短パルスレーザー加工は高いピーク出力を短時間に作用させることで、加工表面を分解・蒸散(アブレーション加工)させる加工法です。
熱加工のような材料の溶融・除去とは異なり、熱損傷の少ない加工が実現できるため高品位な仕上がりになります。
特長
当社の超短パルスレーザー加工には、下記の特長があります。
- フェムト秒レーザーを用いた非熱加工でバリやマイクロクラックの低減された高速加工
難削材金属やセラミックス・ガラス・シリコン等の加工の難しい材質を高品位に加工できます。 - テーパー角制御による加工で、任意の形状加工を実現
ストレート孔や、逆テーパーの加工、丸以外の形状の孔を加工できます。 - 大ステージによる大きなワークの加工が可能(最大ワークサイズ:□500mm)
ステージに吸着する用途など、大きなワークに微細で精度の高い加工をしたい要望にもお答えできます。
用途例
主な開発・展開用途として、下記が挙げられます。
- 整流用フィルタ(気体・液体等)
- フォトリソ向けマスク用金型
- 半導体製造検査治具
- 医療向け部品、治具
- 各種ノズル
- 吸着用途治具
- コリメータ、等
-
セラミック加工 t200µm
角孔30µm ピッチ40µm -
セラミック加工 t200µm
孔径:φ50μm ピッチ:60µm
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ストレート孔加工 SUS t300µm φ200µm -
異形ノズル加工 SUS t300µm 幅:100µm
主な加工仕様
発振器 | 超短パルスレーザー(フェムト秒) |
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最大ワークサイズ | 500(X)×500(Y)×50(Z)mm |
最小孔サイズ | φ25μm(ストレート孔) |
形状 | テーパー、逆テーパー、ストレート孔など任意の形状に対応 お気軽にお問合せ下さい。 |
アスペクト比 | 約10倍 |
加工面粗さ | Ra0.1µm以下 |
よくある質問
Q.超短パルスレーザーはその他レーザー加工とどの様な違いがありますか?
A.以下の通り、難削材において適した加工法となっています。
材料 | 最小孔サイズ | 波長 | 応用 | |
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非熱加工レーザー (超短パルスレーザー) |
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熱加工レーザー (ロングパルスレーザー) |
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テーパー孔: φ10μm |
近赤外(1064nm) |
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Q.超短パルスレーザー加工の価格を教えてください。
A.ワーク内容により異なります。お気軽にご相談ください。
Q.サンプル加工は可能ですか。
A.具体的な内容をお伺いできればと思います。是非お気軽にご相談ください。
無料
技術資料
精密加工 技術ハンドブックVol.7
~レーザー加工技術~
超精密微細加工技術のパイオニアである東レ・プレシジョンの様々な技術をご紹介する、技術資料(PDF)をご提供しています。是非この機会にダウンロードいただき、お役立てください。
資料概要
- ●レーザー加工について
- ●超短パルスレーザー加工(非熱加工)
- ●レーザー加工(熱加工)
- ●レーザー加工と精密加工の組み合わせ
- ●当社の精密加工技術について(一例)
- ●保有装置仕様
- など
- 当社のご紹介
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東レ・プレシジョンは超精密微細加工技術のパイオニアです。
1955年の創業以来、合成繊維製造のキーテクノロジーである紡糸用口金を製造し、日本はもちろん世界の合繊業界の発展に貢献して参りました。
この間に培ってきた精密微細加工技術の経験とノウハウは、現在では半導体、計測・検査、航空・宇宙、医療機器など、様々な産業分野に広く活かされています。