フィルムやシートなどの薄いワークを
吸着固定・搬送したい

お悩み

フィルムやシートなどの歪みや吸着痕が発生しやすい薄いワークを、吸着搬送したいと考えていますが、そのようなものは製作可能でしょうか。

解決

薄いワークの吸着搬送なら東レ・プレシジョンにおまかせください

東レ・プレシジョンはセラミックシート、薄膜フィルム、薄板ガラス基板などの薄いワークの吸着搬送するための治具を製作しています。

  • 特長1

    優れた微細孔加工技術

    金属全般に対応し、且つ高精度な微細な孔・狭ピッチを実現。ワークへのダメージを抑えた吸着が可能です。

  • 特長2

    高精度な平面度・平行度

    高精度な研削加工技術で大面積(~□500mm)でも高い平面度・平行度を実現可能。歪みを低減できます。

  • 特長3

    優れた表面処理

    高精度な表面処理を行います。表面粗さRa0.01μm程度まで可能で、お客様のワークの離型。

  • 特長4

    自由な設計

    オーダーメイド製作なので、大きさ、孔径、ピッチ、吸着エリアなど用途に合わせて自由に設計できます。

東レ・プレシジョンの吸着搬送用の治具が選ばれる理由

1.高い位置決め精度

東レ・プレシジョンの吸着治具は永年培った微細加工技術によって高い位置決め精度を実現。生産ラインでの導入にも対応しております。

2.高い提案力

お打ち合わせの時には営業・技術・生産部門が揃って対応するため、仕様、納期、価格などを考慮した最適なご提案が可能です。

3.豊富な実績

豊富な吸着治具の製作実績がございますので、用途や課題に合わせた吸着治具のご提案が可能です。「シートの外周の吸着力を高めることでシートのふちまで固定できるようにしたい(めくりあがりを防止したい)」、「シートはした生産プロセス上、吸着固定と解放を繰り返すので離型性を考慮し、ある程度粗めの表面粗さにしたい」といったお悩みに合わせて最適な設計をご提案いたします。

吸着搬送ができる製品のご紹介

●吸着プレート

吸着プレートは金属に微細な孔をあけたプレートです。最小孔径Φ20μm、最小ピッチ0.3mmで、非常に薄いワークの吸着搬送に最適です。

主な用途:薄板ガラス基板やセラミックシート、薄膜フィルムなど
こんな方におすすめ: 厚み0.01mm程度の非常に薄いワークを吸着搬送したい方

●吸着治具

吸着治具は、例えば半導体製造プロセスにおけるはんだボールの搬送時に利用する固定治具(例えばBGAハンドボール用治具)等を想定しています。Φ数十~数百μm等の非常に小さいワークを一度に大量搬送したいケースなどに適しています。

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高精度吸着プレート
ご紹介カタログ

高精度な微細孔と高い平面度・平行度により、吸着痕を抑制し、均一に吸着固定する吸着プレートをご紹介します。

高精度吸着プレート
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