電子ビーム関連部品
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超微細孔加工により
高精度に収束された電子の照射を実現
電子レベルを取り扱う理化学機器では、電子を供給する役割の電子銃が必要不可欠です。電子銃では電子ビームをいかに高精度に収束させて放出できるかが機器の性能にも影響します。東レ・プレシジョンの技術を駆使した高精度な電子ビーム関連部品を提供します。
用途
- 半導体
- 理化学機器
- 真空部品
- 医療
特長
- 真空環境下でも対応できる処理を施します。
関連情報
無料
技術資料
精密加工 技術ハンドブックVol.4
～半導体関連向け～
超精密微細加工技術のパイオニアである東レ・プレシジョンの様々な技術をご紹介する、技術資料（PDF）をご提供しています。是非この機会にダウンロードいただき、お役立てください。
資料概要
- ●半導体とは / 世の中の活用先
- ●製造プロセス
- ●部品性能の重要性
- ●加工技術 –超精密微細孔加工技術–
- ●加工技術 –精密仕上げ加工技術/精密洗浄–
- ●半導体製造装置向け製品事例（1）(真空装置向け高精度部品/電子ビーム・光学絞り部品)
- ●半導体製造装置向け製品事例（2）(トレフィーダ®）
- など
- 当社のご紹介
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東レ・プレシジョンは超精密微細加工技術のパイオニアです。
1955年の創業以来、合成繊維製造のキーテクノロジーである紡糸用口金を製造し、日本はもちろん世界の合繊業界の発展に貢献して参りました。
この間に培ってきた精密微細加工技術の経験とノウハウは、現在では半導体、計測・検査、航空・宇宙、医療機器など、様々な産業分野に広く活かされています。